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无论监控仪精度怎样，它也只能控制真空室里单点位置的膜厚，一般来讲是工件架的中间位置。如果真空电镀设备此位置的膜厚不是均匀的，那么远离中心位置的基片就无法得到均匀的厚度。虽然屏蔽罩能消除表现为长期的不均匀性，但有些膜厚度的变化是由蒸发源的不稳定或膜材的不同表现而引起的，所以几乎是不可能消除的，但对真空室的结构和蒸发源的恰当选择可以使这些影响较小。

parylene是美国union carbide co.公司在六十年代推出的一种气相沉积高分子聚合物材料，由的真空气相沉积工艺制备，能涂敷到各种形状的表面，号称“无孔不入”，被业内称为好的防潮、防霉、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。parylene可分为n型、c型、d型、f型、ht型等多种类型

现在，l5000派瑞林镀膜设备哪有订，系统的平均尺寸规格已经在降低，而应用小规格设备进行光学镀膜的生产也已经转变成为纯技术问题。

真空镀膜设备三大保养技巧

当镀膜设备工作完成到两百个镀膜的时候，l5000派瑞林镀膜设备公司，拆出密封圈，及时清洁设备环境（室内环境）。如何清洁保养？首先我们要使镀上去的膜层掉落，同时释放氢气，清洗过程中要注意所使用到的溶液会灼---体的皮肤，所以通常我们要小心谨慎用碱饱和溶液不断来回清洗真空适合内部（内壁），再用清水洗刷真空室，并通过抹布沾上擦拭抽阀里面的污渍。

真空镀膜机镀膜过程中，都要应用到电源，镀的基材不同，工艺不一样，l5000派瑞林镀膜设备，设备配置也不一样，采用的电源，也就不一样。在实际镀膜过程中，该电源要能自动检测灭弧现象并自动引弧，---镀膜过程中的连续性和膜层的均匀性；此外，电弧电源的稳弧性能尤其是小稳弧电流对膜层的一致性、效率性和光洁度影响很大。操作轻便，电---节精度较高，稳流性能好，有利于控制膜厚及---膜厚的重复性。



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