气相沉积设备-拉奇纳米镀膜-气相沉积设备报价

高真空电子束蒸发镀膜机是在高真空条件下，采用电子束轰击材料加热蒸发的方法，在衬底上镀制各种金属、氧化物、导电薄膜、光学薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬膜等；可镀制混合物单层膜、多层膜或掺杂膜；可镀各种高熔点材料。

可根据用户使用要求，选配石英晶体膜厚自动控制及光学膜厚自动控制两种方式， 通过plc 和工控机联合实现对整个镀膜过程的全程自动控制， 包括真空系统、烘烤系统、蒸发过程和膜层厚度的监控功能等，从而提高了工作效率和---产品的一致性和稳定性。

　　真空镀膜设备的真空系统构成：

　　目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同，气相沉积设备，而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别，归纳起来主要有如下几种系统：通用真空系统、真空系统、制冷机低温泵系统。

　　一、通用真空系统

　　系统的主泵是油扩散泵，泵上方设有水冷挡板(阱)，主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2～10-4pa的范围内。

　　二、真空系统

　　在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵，气相沉积设备厂家哪里近，就可以使镀膜室真空度提高到10-6pa以上，从而得到真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵，所以还是有油的系统。

　　镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空，有利于膜的提高。分子泵抽速很大，可以缩短工艺周期。

　　三、制冷机低温泵系统

　　使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点：无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的---压力、操作简单、蓬盘维护方便。