台山化学气相沉积-拉奇纳米镀膜-等离子化学气相沉积

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    2023-8-7

唐锦仪
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(3)蒸发或溅射出来的制膜材料,在与待镀的工件生成薄膜的过程中,对其膜厚可进行比较的测量和控制,从而---膜厚的均匀性。



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