汽车配件纳米镀膜设备-新北纳米镀膜设备-东莞拉奇纳米

人们把等离子体、离子束引入到传统的物理气相沉积技术的蒸发和溅射中，参与其镀膜过程，同时通入反应气体，也可以在固体表面进行化学反应，生成新的合成产物固体相薄膜，称其为反应镀。

在溅射钛(ti)等离子体中通入反应气体n2后合成tin就是一例。

这就是说物理气相沉积也可以包含有化学反应。又如，纳米镀膜设备，在反应室内通入，借助于w靶阴极电弧放电，在ar，w等离子体作用下使分解，并在固体表面实现碳键重组，生成掺w的类金刚石碳减摩膜，人们习惯上把这种沉积过程仍归入化学气相沉积，塑料纳米镀膜设备，但这是在典型的物理气相沉积技术——金属阴极电弧离子镀中实现的。

溅射是物理气相沉积技术的另一种方式，有人要问了溅射工艺是怎么实现的呢？

溅射的过程是由离子轰击靶材表面，使靶材材料被轰击出来的技术。整个过程是在真空腔体中完成的。溅射开始时将气充入真空腔体中形成低压气氛围，再通过使用高电压，产生辉光放电，加速离子到靶材表面。离子将靶材材料从表面轰击（溅射）出来，在靶材前面的被涂层工件上沉积下来，这整个过程就好像是在打台球。