




真空pvd镀膜基本步骤
前处理工艺褪膜、喷砂、抛光、钝化、清洗、装夹 镀膜工艺抽真空、加热烘烤、漏率测试、轰击清洗、镀膜、冷却出炉 后处理工艺
清洗:---镀膜前产品表面的清洁,越新鲜的表面,派瑞林涂层,越能---镀膜;
抽真空:将真空室内的残余气体抽走加热烘烤:炉体和工件同时加热,加速残余气体的释放压升率测试:测试炉体的漏气率和放气率轰击清洗:去除工件表面的杂志,露出新鲜表面镀膜:沉积膜层冷却:避免工件氧化变色
铁氧体磁性材料及稀土永磁:高导磁软磁铁氧体小磁芯体积小、---、用量大;这些产品的表面必须采用parylene来涂上一层保护层,以增强产品表面的绝缘性、坚固性、光滑性。这种涂层是传统的还氧喷涂所无法达到的;稀土永磁产品在汽车、音箱、磁疗、电机等领域的运用越来越广泛。但是这类产品表面的耐腐蚀要求非常高。普通的电镀、电泳处理的后的产品的耐盐雾时间仅能达到70-100小时。而采用parylene可以达到300-500小时。其耐腐蚀时间是前者的4-5倍。磁性材料(绝缘、防锈、防线伤、填补稳定特性制作)。
带钢真空镀膜总的来说仍处在发展的初级阶段,在带钢表面处理中所占份额目前还远不能与热浸镀、电镀相比。阻碍带钢真空镀膜发展的主要原因是生产率低,塑料派瑞林涂层,成本较高。有效的解决方法是开发研制高速,桥头派瑞林涂层,稳定的高功率蒸发源。
大功率电子的开发和使用是带钢真空镀膜中的关键技术。一般的真空蒸发镀膜可以采用电阻加热和感应加热。它的设备较简单,但加热温度和蒸发速率较低。要满足连续式工业化生产钢带真空镀膜的需要,就必须使用加热速度快,熔化温度高的热源。
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