




真空镀膜加工的常用办法
(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,parylene镀膜,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3pa,然后将阴极接上2000v的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子碰击阴极,使其射出原子,汽车配件parylene镀膜,溅射出的原子经过惰性气氛堆积到基体上形成膜。
镀膜常用在相机镜头、近视、、老花镜等纠正眼镜上运用。
镀膜是在外表镀上非常薄的通明薄膜。目的是希望削减光的反射,添加透光率,抗紫外线并抑低耀光、鬼影;不同色彩的镀膜,也使的成像色彩平衡的不同。此外,镀膜尚可推迟镜片老化、变色的时间。
电子束蒸发镀是将蒸发材料放入水冷铜坩锅中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面形成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,---适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
优点:
1、电子束轰击热源的束流密度高,能获得远比电阻加热源的能量密度。
2、由于被蒸发材料是置于水冷坩锅内,因而可避免容器材料的蒸发,以及容器材料与蒸镀材料之间的反应,这对提高镀膜的纯度---重要。
3、热量可直接加到蒸镀材料的表面,因而热效率较高热传导和热辐射的损失少。
高频感应蒸发源蒸镀法:
高频感应蒸发源是将装有蒸发材料的石墨或陶瓷坩锅放在水冷的高频螺旋线圈中央,金属配件parylene镀膜,使蒸发材料在高频带内磁场的感应下产生---的涡流损失和磁滞损失(对铁磁体),使蒸发材料升温,金属parylene镀膜,直至气化蒸发。
优点:
1、蒸发速率大,可比电阻蒸发源大10倍左右。
2、蒸发源的温度均匀稳定不易产生飞溅现象。
3、蒸发材料是金属时,蒸发材料可产生热量。
4、蒸发源一次装料,无需送料机构,温度容易控制,操作简单。
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