




parylene涂层,其性能可以满足电路组件的涂层需要。这些透明的聚合物实际上是高结晶和线性的,具有优异的介电和屏蔽性能,以及化学惰性,而且致密无。
用parylene涂敷的集成电路硅片细引线可加固5-10倍,parylene还能渗透到硅片下面,提高硅片的结合强度,提高集成电路的---性。
parylene在电子产品领域的优点:
防盐雾,防氧化,防潮湿三防---异同时在酷热及低温-270摄氏度条件下均保持---的防护特性;
极低的介电常数和超薄的厚度,高频损耗小;

真空镀膜的方法很多,计有:(1)真空蒸镀:将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室,广东矽钢片绝缘处理,抽空后将膜料加热到高温,使蒸气达到约13.3pa而使蒸气分子飞到基体表面,凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀:将需镀膜的基体放在阴极对面,把惰性气体(如)通入已抽空的室内,保持压强约1.33~13.3pa,矽钢片绝缘处理技术,然后将阴极接上2000v的直流电源,便激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极,使其射出原子,溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积:通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物,获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀:实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合,矽钢片绝缘处理厂家哪里近,兼有两者的工艺特点。表6-9列出了各种镀膜方法的优缺点。
? 微电子、半导体:使用高纯的parylene作钝化层和介质层,能提供安全、稳定的防护。
?传感器和换能器:自动化控制和---环境下使用的传感器、换能器, parylene涂层防护可以提高环境适应性和---性,涂层无,且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种---环境。
?parylene适用于微机电(mems)、半导体领域之优点
*能进行微米级微细制作和加工;
*与其它微细结构材料有---的相容性;
* 在微细结构中仍具有优良的电性能和物理机械性能;
*对微电子机械系统的使用环境有---的相容性和防护性
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