




真空镀膜,由于其镀膜方式的不同,同样的镀材所制备的薄膜效果也会不一样的,南城parylene镀膜,虽然肉眼无法看出来,但确实拥有一定的优势。 膜厚稳定性好。 镀材范围广,由于溅射镀膜是通过离子的高速轰击使镀材溅射出来的,橡胶parylene镀膜,当然这个厚度是在可允许的范围内,硅胶parylene镀膜,而且控制好电流,无论重复镀多少次,膜层厚度都不会变化,膜厚的稳定性可归结为膜厚---的可控性和重复性。
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厚度上的均匀性,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100a),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。
厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4、真空度
5、镀膜时间,厚度大小。

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