真空镀膜加工清除镀膜室内的灰尘,洪梅矽钢片绝缘处理,设置清洁度高的工 作间,保持室内高度清洁是镀膜工艺对环境的基本要求。空气湿度大的地区,除镀前要对基片、真空室内各部 件认真清洗外,还要进行烘烤除气。要防止油带入真空室内,注意油扩散泵返油,对加热功率高的扩散泵必须 采取挡油措施。
真空镀膜加工表面的清洁处理非常重要,直接影响到电镀的产品品质。加工件进入镀膜室---定要做到认真的镀前清洁处理,表面污染来自工件在加工、传输、包装过程所粘附的各种粉尘、润滑油、 机油、抛光膏、油脂、汗渍等物,
---实践证明,大功率电子是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为
(1)电子发射的电子束经---后可达到---的能量密度,轰击坩埚镀膜材料,可使其温度达到3000℃以上,远比电弧温度高。
(2)电子束能量转化率---80%-90%,采用磁偏转系统可以方便地进行电子束---和扫描,加热均匀。
(3)电子束只轰击镀膜材料表面,不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。
(4)电子蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。
(5)使用电子还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热,就是使用电子清洁钢带,轰击表面使其活化。通过电子束---的扫描,钢带表面温度控制在200~550℃,这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。
四种常见的真空镀膜材料
1.氧化物:一氧化硅sio,二氧化硅sio2,二氧化钛tio2,二氧化锆zro2,二氧化铪hfo2,一氧化钛tio,五氧化三钛ti3o5,五氧化二铌nb2o5,五氧化二钽ta2o5,氧化钇y2o3,氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。
2.---物:---钕nbf3,baf2,矽钢片绝缘处理厂在哪,---cef3,---镁mgf2,矽钢片绝缘处理选,laf3,---钇yf3,---镱ybf3,---铒erf3等高纯---物。
3.其它化合物:---锌zns,---znse,氮化钛tin,碳化硅sic,钛酸---latio3,钛酸钡batio3,钛酸---srtio3,钛酸镨prtio3,cds等真空镀膜材料。
4.金属镀膜材料:高纯铝al,高纯铜cu,高纯钛ti,高纯硅si,高纯金au,高纯银ag,高纯铟in,高纯镁mg,高纯锌zn,高纯铂pt,高纯锗ge,高纯镍ni,高纯金au,金锗合金auge,金镍合金auni,镍铬合金nicr,钛铝合金tial,铜铟合金cuinga,铜铟硒合金cuingase,锌铝合金znal,铝硅合金alsi等金属镀膜材料。
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