




镀膜有许多优点,如设备与工艺相对比较简单,即可沉积非常纯净的膜层,又可制备具有特定结构和性质的膜层等等,仍然是当今非常重要的镀膜技术。镀膜系统一般由三个部分组成:真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料,需要容器来支撑或盛装蒸发物,同时需要提供蒸---使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。

真空镀膜机日常维护保养
3、扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入---,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,气相沉积设备制造商,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,气相沉积设备,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。
方法:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6x10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,气相沉积设备厂家,或压坏密封圈。排除漏气---后方可加热,气相沉积设备哪有订,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
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真空蒸发镀膜设备功能特点,真空室内蒸发物质的蒸气与固体或液体平衡过程中所表现出来的压力。
1.高熔点:因为镀料的蒸发温度(饱和蒸气压为1pa时的温度)多数为1000-2000℃,所以蒸发源材料的熔点高于此温度
2.饱和蒸气压低:主要是为了防止和减少高温下蒸发源材料会随着镀料蒸发而成为杂质进入蒸镀膜层中。
3.化学性能稳定,高温下不与蒸发材料反应:但是在电阻蒸发中比较容易出现的问题是,高温下某些蒸发源材料与镀料之间会发生反应和扩散

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