激光束蒸发源蒸镀法：
采用激光束蒸发源的蒸镀技术是一种理想的涂层制备方法，是利用激光束作为热源加热蒸镀的一种涂层制备技术，汽车parylene涂层，激光器置于真空室之外，高能量的激光束透过窗口进入真空室中，经透镜---之后照射到靶材上，使之加热气化蒸发并沉积在基片上。
优点：
1、简化了真空室内部的空间布置，减少了加热源的放气，而且还可避免蒸发气对被镀材料的污染，达到了涂层纯洁的目的。
2、激光加热可以达到---的温度，利用激光束加热能够对某些合金或化合物进行快速蒸发。这对于---涂层的成分，parylene涂层，防止涂层的分馏或分解也是极其有用的。
目前，薄膜制程技术广泛应用于半导体工业及精密机械上，汽车配件parylene涂层，由于利用薄膜制程技术所生产的产品具有---附加价值，使薄膜制程技术与薄膜材料被广泛应用于研究和实际，同时带来镀膜技术的迅速发展。通常，镀膜方法主要包括离子镀膜法、磁控溅镀、真空蒸发法、化学气相沉积法等。然而，随着集成电路的密集及微型化，精密机械的精度提升，对于镀膜厚度要求愈渐严苛。
真空镀膜加工是利用化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体，借助气相作用或基体表面上的化学反应，在基体上制出金属或化合物薄膜的方法，主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有cvd和pvd两者特点的等离子化学气相沉积等。
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