激光束蒸发源蒸镀法：
采用激光束蒸发源的蒸镀技术是一种理想的涂层制备方法，是利用激光束作为热源加热蒸镀的一种涂层制备技术，激光器置于真空室之外，高能量的激光束透过窗口进入真空室中，经透镜---之后照射到靶材上，使之加热气化蒸发并沉积在基片上。
优点：
1、简化了真空室内部的空间布置，金属真空微米镀膜，减少了加热源的放气，而且还可避免蒸发气对被镀材料的污染，达到了涂层纯洁的目的。
2、激光加热可以达到---的温度，利用激光束加热能够对某些合金或化合物进行快速蒸发。这对于---涂层的成分，防止涂层的分馏或分解也是极其有用的。
真空镀膜加工的基本技能要求
5、离子镀堆积源的规划应尽可能提高镀膜过程中的离化率，提高镀膜资料的利用率，合理匹配堆积源的功率，合理布置堆积源在真空室体的位置。
6、合理布置加热设备，一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。
7、工件架应与真空室体绝缘，工件架的规划应使工件膜层均匀。
8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源，离子轰击电源应具有抑制非正常放电设备，维持作业稳定。
真空镀膜加工是利用化学气相沉积技术是把含有构成薄膜元素的单质气体或化合物供给基体，真空微米镀膜，借助气相作用或基体表面上的化学反应，在基体上制出金属或化合物薄膜的方法，显示屏真空微米镀膜，主要包括常压化学气相沉积、低压化学气相沉积和兼有cvd和pvd两者特点的等离子化学气相沉积等。
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