白云气相沉积设备-拉奇纳米镀膜设备-气相沉积设备哪里实惠

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    2023-11-10

唐锦仪
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真空镀膜机的原理

真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,用于连接各种泵。

辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。





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真空镀膜机如何选型选用真空泵时,气相沉积设备哪里实惠,需要注意下列事项:

真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。

如:真空镀膜机要求1x10-5mmhg的真空度,气相沉积设备厂在哪, 选用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmhg.真空镀膜机对于真空度的---要求和工作压力强度要求越来越大,对真空泵的抽真空能力要求就越高,通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。




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