




影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?
气体不均匀性的影响
一般来说气体不均匀可以由两种情况产生,一种是送气不均匀,h850派瑞林镀膜设备,另一种就是抽气不均匀。正常抽气情况指的是真空室内的孪生靶两端对称抽气,可认为是均匀抽气;而前分子泵关和后分子泵关则是一端抽气,属于不均匀抽气。由于都是均匀送气不均匀抽气,真空室内的气体就不均匀了。很显然前分子泵关只开后分子泵时,气压从前到后逐渐减小,而后分子泵关只开前分子泵时,气压从后到前逐渐减小。实验得到的膜厚考虑磁场的影响后也正与气压变化相符。
东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(pa-rylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。
真空制备的镀层能防止镀层材料和镀层零件的表面污染,消除空间碰撞,提高镀层的细度,制备出具有单一化合物特殊功能的镀层。为了提高涂层厚度的均匀性,采用行星机构或行星运动形式等旋转运动设备的真空室具有---的涂膜均匀性、---的涂层台阶覆盖性能、较大的承载能力,并能充分利用有用空间。这是一种常见的运动形式。排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。
真空镀膜机扩散泵维修与保养
5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,派瑞林镀膜设备厂家在哪,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,东城派瑞林镀膜设备,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,lh300派瑞林镀膜设备,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
7、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好真空室门,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。
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