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空镀膜设备在设备运送中有可能出现各种各样的问题，因此在用以前，要从严开展安全检查，以------，那样使用真空镀膜设备使用时一般是必须做好什么日常检查呢?1.服务器减速箱、牵引带减速器应当常常加油，拆换机油。2.新手机请使用10多天更换机油，气相沉积设备厂家哪里近，以---各旋转部位正常运行。3.留意加油，避免卡死和超温毁坏。4.还应当查验各联接部位的固紧状况，避免罗栓松脱。5.泡管内的空气压缩要保持适当。6.运行主电机时，应先运行电机后逐渐加快;关掉主电机，应先降速之后再待机。镀膜设备真空镀膜技术的特征，真空镀膜技术主要包括真空挥发镀、真空磁控溅射镀、真空等离子喷涂、真空束流堆积、干法刻蚀等几种方式。

影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

靶基距、气压的影响

磁控溅射真空镀膜机靶基距也是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数，薄膜厚度均匀性在一定范围内随着靶基距的增大有提高的趋势，气相沉积设备选，溅射工作气压也是影响薄膜厚度均匀性重要因素 。但是，这种均匀是在小范围内的，因为增大靶基距产生的均匀性是增加靶上的一点对应的基材上的面积产生的，而增加工作气压是由于增加粒子散射产生的，显然，这些因素只能在小面积范围内起作用。