微电子机械系统（mems）parylene能在0.2um厚时就完全没有，5um时就---1000v以上直流击穿电压，又是摩擦系数很低的一种自润滑材料，化学惰性和阻隔性能也好，因此在微电子机械系统中，除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。parylene在传感器领域中的应用，除了作绝缘介质外，更多用作防护材料，它---酸、碱和，对水汽和盐雾等---环境有的阻隔防护能力，用极薄的涂层提供---的防护。
该涂层解决方案基于涂层材料的生物相容性以及特性可以有效地从上排除掉有害的微生物，它可以将潜在致命微生物有效隔离于。它就像一个屏障，既可以保护的身体免受金属和塑料所含不利物质的释放，又可以保护免受人体---的渗透，他说道，因此它具备两方面的功能。
parylene涂层比其他替代涂料更薄，但能阻隔---、湿气和化学---。
将涂上一层parylene涂层的塑料器件注射14种病原体并温育24小时，测试结果表明，气相沉积，parylene保护的样品表现明显好于未受保护的样品。其中抗mrsa达99.9%。同时，parylene涂层还具备高润滑性、耐高温磨损性，电子气相沉积，且能承受蒸汽和伽玛射线的标准杀菌过程。
parylene的原理是用的真空气相沉积工艺（cvd技术）制备，由活性小分子在基材表面生长出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，气相沉积，号称无孔不入可深入裂缝里和内表面。这种真空状态下室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，甚至被业内称为当今的防潮、防霉（零级）、防腐、防盐雾的特殊防护涂层。
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