气相沉积设备-东莞拉奇纳米镀膜-气相沉积设备哪里实惠

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    2023-8-14

唐锦仪
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真空镀膜机器设备的主泵形式分成二种,各自为有油真空泵和无油超滤装置,这二种系统软件的工作中形式全是不一样的;有机油超滤装置基本上是以油扩散泵为主泵,前面泵选用真空泵或是罗茨真空泵。我们知道,油扩散泵的工作压力方向较为大,与此同时抽真空速度十分的高,可以做到每秒钟十几万升。

无油超滤装置是应用分子泵和低温泵做为主泵的,其特性关键集中化在可以持续很多抽真空,能够得到清理无油的---真空泵。



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如何减少真空离子镀膜机中的灰尘

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影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

磁场不均匀的影响

由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的,也不是处处正交的,都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的,至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响,也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的,好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。




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