气相沉积设备-气相沉积设备-拉奇纳米镀膜

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    2023-8-3

唐锦仪
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影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

靶基距、气压的影响

磁控溅射真空镀膜机靶基距也是影响磁控溅射薄膜厚度均匀性的重要工艺参数,薄膜厚度均匀性在一定范围内随着靶基距的增大有提高的趋势,溅射工作气压也是影响薄膜厚度均匀性重要因素 。但是,这种均匀是在小范围内的,气相沉积设备工厂在哪,因为增大靶基距产生的均匀性是增加靶上的一点对应的基材上的面积产生的,而增加工作气压是由于增加粒子散射产生的,显然,这些因素只能在小面积范围内起作用。




  真空镀膜设备的真空系统构成:

  目前在各种真空镀膜设备上所配用的真空系统不但结构各不相同,气相沉积设备公司,而且系统的抽气特性也随其工作对象的不同而有很大的差别,归纳起来主要有如下几种系统:通用真空系统、真空系统、制冷机低温泵系统。

  一、通用真空系统

  系统的主泵是油扩散泵,泵上方设有水冷挡板(阱),主泵的前级泵为机械泵。这种系统的工作压强在10-2~10-4pa的范围内。

  二、真空系统

  在上述真空系统中加装液氮冷阱或钛泵,就可以使镀膜室真空度提高到10-6pa以上,从而得到真空系统。由于该系统仍采用油扩散泵,气相沉积设备,所以还是有油的系统。

  镀膜机采用分子泵系统可以获得十分清洁的真空,有利于膜的提高。分子泵抽速很大,可以缩短工艺周期。

  三、制冷机低温泵系统

  使用低温泵抽气系统的真空镀膜设备具有一系列优点:无选择性气体、无碳氢化合物污染、具有较大的抽气速率、可以获得较低的---压力、操作简单、蓬盘维护方便。





东莞拉奇纳米科技有限公司是一家从事纳米镀膜代工与纳米镀膜设备制造销售的公司,是将派瑞林(pa-rylene)高分子材料裂解为纳米分子再进行产品表面的真空镀膜处理。使被镀物具备以下特性:防水、防潮、耐酸碱、抗盐雾、高抗压、绝缘、生物兼容性等。

真空镀膜机怎样除尘

粗除尘(金属网除尘器)

金属网除尘器的基本版本是钢屑过滤器,其结构比较简单,气相沉积设备,是一种结构简单的装置,将金属切削屑装入金属丝网袋中。安装在镀膜真空室的管道出口处,便于取出和推进。这种除尘器的尺寸一般为20-60厘米。其工作原理是依靠芯片的机械阻隔作用,可以起到去除灰尘中一些较大颗粒的作用,同时也有一定的冷却效果。在后来改进的金属网除尘装置中,在储油器中安装了部分泵油,这样气流中的大部分粉尘颗粒就可以在油中被去除,而没有粘附在油面上的粉尘颗粒则被金属网除去。



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