但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10a甚至1a的表面平整，是现在真空镀膜中主要的技术含量与技术瓶颈所在，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
2.化学组分上的均匀性：
就是说在薄膜中，气相沉积工厂在哪，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，sitio3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是sitio3，而可能是其他的比例，气相沉积工艺，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。
3.晶格有序度的均匀性：
这决定了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技术中的---问题，具体见下。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld，组分均匀性容易保持，而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射)，晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld为例，因素主要有：靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。对于不同的溅射材料和基片，参数需要实验确定，是各不相同的，镀膜设备的好坏主要在于能否控温，能否---好的真空度，能否---好的真空腔清洁度。mbe分子束外沿镀膜技术，已经比较好的解决了如上所属的问题，但是基本用于实验研究，荔湾气相沉积，工业生产上比较常用的一体式镀膜机主要以离子蒸发镀膜和磁控溅射镀膜为主。
真空镀膜技术被誉为发展前途的重要技术之一 ，镀膜公司并已在高技术产业化的发展中展现出---的市场前景。这种新兴的真空镀膜技术已在---各个领域得到应用，如航空、航天、电子、信息、机械、石油、化工、、等领域。
真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，真空镀膜对于蒸发源与被镀制品和薄膜要求---的场合，则要求压力---（ 10-5pa ）。 镀层厚度0.04-0.1um，太薄，反射率低；太厚，附着力差，易脱落。厚度0.04时反射率为90%。
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