




真空镀膜机扩散泵维修与保养
5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏,应定期检查。如:泵油是否减少或氧化,按相应要求加油或更换处理;零件及泵腔先用航空清洗,然后用进行擦洗,并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后,按顺序进行装配,保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心,lh300派瑞林镀膜设备哪有订,各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
7、在重新开机前,要注意检漏工作。方法是:启动维护泵,关好真空室门,lh300派瑞林镀膜设备制造商,数分钟后,观察真空度是否6*10的0帕,否则要进行检漏,lh300派瑞林镀膜设备公司,检查连接处是否漏装密封胶圈,或者压坏密封圈。排除漏气---后方可加热,否则扩散泵油会烧坏,无法进入工作状态。
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真空镀膜机真空,必须使用机械泵、机械泵也被称为前级泵、机械泵是应用z广泛的低真空泵油保持密封效果和依靠机械方法不断改变泵吸入腔的体积,所以容器内气体的体积膨胀以获得真空。机械泵有很多种,lh300派瑞林镀膜设备,常用的滑阀式、往---塞式、固定板式和回转板式四种类型。
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如何减少真空离子镀膜机的粉尘
1. 所用原料应符合---的纯度要求;
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