东莞拉奇纳米-肇庆化学气相沉积设备

镀膜机常见故障及处理方法：

一、检测不到掩膜夹具翻转信号：

1、检查翻面信号源位置

2、将翻面输入信号人工短接，使用翻面检测功能，化学气相沉积设备厂家哪里近，计算机能检测到信号时，证明问题在翻面控制开关上，根据情况做相应处理。检测不到信号首先检查线路，然后更换控制卡。

二、掩膜夹具翻转不稳定:

1、检查翻板的初始位置是否符合---

2、检测翻面控制开关工作是否稳定，肇庆化学气相沉积设备，可用指针万用表---监测。

3、检查翻转机构动作是否灵活---

4、检查翻面信号次数设置

5、检查旋转工作台是否与钟罩内壁有摩擦现象

6、检测旋转工作台在转动时的稳定性

影响磁控溅射真空镀膜机薄膜均匀性的因素有哪些?

磁场不均匀的影响

由于实际的磁控溅射装置中电场和磁场不是处处均匀的，也不是处处正交的，都是空间的函数。写出的三维运动方程表达式是不可解的，至少没有初等函数的解。所以磁场的不均匀性对离子的影响，也即对成膜不均匀性的影响是难以计算的，好的方法就是配合实验具体分析。图1是用中频孪生靶柔性卷绕磁控溅射镀膜装置实验得出的靶磁场均匀性和成膜厚度均匀性的对应关系。