




对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,神湾超声波化学气相沉积,终形成薄膜。
溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以pld为例,因素主要有:靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲频率、溅射时间。
装饰膜
颜色:包括黄金色、玫瑰金色、黑色、蓝色等多种颜色膜层
厚度:一般在0.5-1.3um。厚度根据客户对膜层级别的不同要求而定
外观:膜层不改变基体镀膜前的状态(抛光、拉丝或喷砂)
基体:不锈钢、钛合金、钨钢、陶瓷、合金等均可,部分基体需要在真空镀膜前进行水镀处理
金色膜系:
真空离子镀金(ipg),膜层颜色包括1n14、2n18色;
真空离子镀玫瑰金(ipr),膜层颜色包括3n、4n、5n色;
微电子机械系统(mems)parylene能在0.2um厚时就完全没有,5um时就---1000v以上直流击穿电压,又是摩擦系数很低的一种自润滑材料,超声波化学气相沉积多少钱,化学惰性和阻隔性能也好,因此在微电子机械系统中,除了作电介质材料外,还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。parylene在传感器领域中的应用,超声波化学气相沉积加工厂,除了作绝缘介质外,更多用作防护材料,它---酸、碱和,对水汽和盐雾等---环境有的阻隔防护能力,用极薄的涂层提供---的防护。
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