




物理气相沉积技术具有膜/基结合力好、薄膜均匀致密、薄膜厚度可控性好、应用的靶材广泛、溅射范围宽、可沉积厚膜、可制取成分稳定的合金膜和重复性好等优点。同时,金属化学气相沉积,物理气相沉积技术由于其工艺处理温度可控制在500℃以下,因此可作为终的处理工艺用于高速钢和硬质合金类的薄膜刀具上。由于采用物理气相沉积工艺可大幅度提高刀具的切削性能,人们在竞相开发、高---性设备的同时,也对其应用领域的扩展,尤其是在高速钢、硬质合金和陶瓷类刀具中的应用进行了深入的研究。
在光学镀膜材料的应用上,化学气相沉积加工,镀膜靶材是---,通过不同靶材中含有的稀有金属不同而形成不同的光学镀膜材料,化学气相沉积技术,普遍应用的稀有金属有---钇、---镨、锗、---锌、---镁、二氧化钛、氧化锆、钴、、硒等金属。在反射镜的光学材料中普遍用到铜、钼、硅、锗等金属,在输出端和透射光学原件中锗、、---等应用广泛。
随着镀膜技术的不断推广,光学镀膜技术的应用领域也在不断拓宽,这些具有优异物理特性的金属将随着我们生活水平的提高为我们的生活带来更多的精彩。
派瑞林纳米涂层式一种高分子热可塑性聚合体,由单体对二在真空状态下均匀分布在被涂装物的缝隙和表层然后聚合。运用气相沉积的处理技术,可以于物体表面均匀coating形成膜层,薄膜的厚度可在1微米至 50微米的范围内任意调整。由于在真空状态下操作蒸气无孔不入效率,---学气相沉积,可形成无膜层, 并地控制膜层厚度,且各处厚度均匀一致,使派瑞林((parylene coating)涂层的覆被特性远优于epoxy(电泳)、spary(喷涂)、dipper(含浸)等涂装方式。
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