




手机纳米膜真空设备系统的简单介绍
(1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从---压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,番禺化学气相沉积,就是粗油泵。
真空镀中对底涂层的要求:
对镀件与镀膜层有---的接触性能与较高的结合力,热膨胀系数相差小,不起反应,化学气相沉积技术,流平性能好。
具有---的真空性能。底涂层固化后放气量少、热应力小、耐热性能好。
成膜性能好,涂层的致密度、覆盖能力、抗溶剂能力与耐光照能力等性能---。
与面涂层有---的相溶性。由于镀膜层极薄有孔隙,要求底涂层和面涂层的溶剂和稀释剂有---的相溶性。
施涂性能---。流平性能---,有适当的黏度、固化时间短。
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(金属、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法。例如,真空镀铝、真空镀铬等。
真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面,低压化学气相沉积,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,石墨烯化学气相沉积,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜。
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