化学气相沉积-拉奇纳米镀膜-多功能化学气相沉积

粗抽泵：从---压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

　　(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，多功能化学气相沉积，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

只要仪器和系统控制软件的连接，化学气相沉积，它可以控制涂层的全过程。但(qcm)的准确性是有限的，镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层。

众所周知，在某些材料的表面上，只要镀上一层薄膜，就能使材料具有许多新的、---的物理和化学性能。20世纪70年代，在物体表面上镀膜的方法主要有电镀法和化学镀法。前者是通过通电，使电解液电解，超声波化学气相沉积，被电解的离子镀到作为另一个电极的基体表面上，化学气相沉积技术，因此这种镀膜的条件，基体必须是电的良导体，而且薄膜厚度也难以控制。后者是采用化学还原法，必须把膜材配制成溶液，并能迅速参加还原反应，这种镀膜方法不仅薄膜的结合强度差，而且镀膜既不均匀也不易控制，同时还会产生大量的废液，造成---的污染。因此，这两种被人们称之为湿式镀膜法的镀膜工艺受到了很大的---。