石墨烯化学气相沉积-拉奇纳米镀膜设备-沙田化学气相沉积

镀膜制造需要部分耗材1.sio2颗粒或环状(***300****230*t7.5mm，)需要根据机台配置选用。2.tio2颗粒。3.晶振片filtex 6mhz或inficon6mhz。4.监控片bk7 φ142*80*1.8mm，需要根据机台配置选用。5.铜坩埚，需要根据机台配置选用。6.铝箔厚度0.05mm*宽610mm。7.电子枪灯丝，需要根据机台配置选用。8.离子源，需要根据机台配置选用耗材。

 钕铁硼稀土磁性材料是一种问世不久的新型强磁材料。近年来在小型马达、汽车电子，工具、扬声器、电力工具等方面应用发展很快。但钕铁硼稀土磁性材料弱点是容易被空气中的水分及氧气所腐蚀，因此必须有一个安全---的防护涂层钕铁硼稀土磁性材料才有使用价值。目前国内常用两种方法进行防护，一种是传统的电镀工艺在 铁硼磁性材料表面镀上镍、锌或锡、金等。这些涂层有时会影响磁性材料的表磁等特性，有的在盐雾试验时仍不能对钕铁硼磁性材料提供有效的防护。另一种方法是用环氧树脂材料进行电泳涂敷，石墨烯化学气相沉积，但电泳涂敷时工件表面必须有一挂点，挂点的修补不仅费工费时，而且难以---，多功能化学气相沉积，而parylene涂层技术可控制涂层厚度进行无支点全涂敷防护。parylene又是一种透氧、透水汽率非常低的高分子薄膜材料，parylene涂敷稀土磁性材料的技术和产品，目前国外小型钕铁硼稀土磁性材料都已采用parylene进行防护。