防水纳米镀膜-台湾纳米镀膜-东莞拉奇纳米

parylene在微电子／微马达上的应用 　　　　

parylene涂层不仅有优异的介电性能、低的介质损耗和高的介电强度，同时具有优良的机械性能和耐辐射性能。parylene如此高的介电强度主要归功于parylene能形成连续无缺陷和无其它填充物的薄膜。

微电子、半导体：使用高纯的parylene作钝化层和介质层，能提供安全、稳定的防护。传感器和换能器：自动化控制和---环境下使用的传感器、换能器， parylene涂层防护可以提高环境适应性和---性，涂层无，且具有防潮功能。各种传感器传感部件及弯曲管。适用于各种---环境。

什么是派瑞林?

它是一种透明无色的聚酯保护材料。 适用于室温下的真空镀膜，真空镀膜压力在10-5托以下，而派瑞林镀膜工艺在0.1托左右。 涂层的厚度可控制在1-100微米之间，该涂层是美国在60年代初开发的---，应用于美国印刷电路板、航空航天和水下发射装置的微电子元件领域，防水纳米镀膜，1972年被纳入美---准：mil-i-46058c

微纳米加工技术：化学气相沉积工艺（cvd）

将粉末状的纳米原料放入真空纳米涂层设备的蒸发室，通过150℃-180℃的温度蒸发为气态分子，在真空（1.0*10-2torr）作用下气态的10nm以下纳米分子进入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高温裂解为具有反应活性的单体，活性单体与单体之间重新聚合，形成一层致密无的纳米膜层。