




parylene是---的聚对(poly-p-xylylene)聚合物系列的通用名称,是一种分子级敷型涂层材料,根据分子结构的不同,可分为parylene n、c、d、ht、f型等多种类型。parylene d在较高温度下仍有优良的介电性能和物理机械性能,有较高的稳定性。本文将对其单体制备方法和成膜方法进行简单总结。
parylene 薄膜的制备聚合过程
常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(cvd),反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应,parylene镀膜厂,在固态基体表面直接生成固态物质,进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。派瑞林薄膜制备过程为环状二聚体在高温下两个相连碳键断裂,生成具有活性的二单体,当其从高温环境进入室温环境的沉积室时,不稳定的单体就会聚合成膜。整个制备工艺过程分为三步:单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。
parylenec和parylenen的薄膜击穿电压
parylene的特征之一是它们可以形成极薄的膜层。parylenen薄膜和c薄膜的直流击穿电压被确定与高聚物厚度有肯定的关系。图3画出了相干的曲线。对于5个微米(0.0002inch)以下的薄膜,parylene镀膜,这方面的性能parylenec要强于parylenen。这些数据注解,两种parylene材料都具有---的绝缘性能,即使厚度小于1个微米。随着厚度的减小,单位厚度的击穿电压一样平常将升高。
parylene涂层是在室温下在元件上自发形成的,不需要经升温固化过程,不需要对基材施加室温以上的温度和更多的时间来让膜生长。由于这种聚合是自发的不需要催化剂。促进聚合的催化剂通常是离子或离子化合物,固化后它们会多少残留一些在涂层里。这些残留的物质能参与电荷的迁移,parylene镀膜加工厂家,在一定程度上影响涂层的电性能。又由于parylene涂层是在室温下形成的,因此可以防止主要因室温和固化温度变化不同由热膨胀引起的应力问题。
杰出的绝缘性能
除了这些内在的性质以外parylene类涂层有优异的电性能,parylene镀膜加工,它有优异的介电性能--低的介质损耗和高的介电强度,同时它还具有优良的机械性能,有高的机械强度和低的摩擦系数,这二者的结合使parylene成为对小型绕线伤害元件能适用的绝缘层。
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