石墨烯化学气相沉积-中山化学气相沉积-东莞拉奇纳米镀膜

---实践证明，大功率电子枪是钢带连续真空镀膜工艺的理想热源。这是因为

（1）电子枪发射的电子束经---后可达到---的能量密度，轰击坩埚镀膜材料，等离子化学气相沉积，可使其温度达到3000℃以上，远比电弧温度高。

（2）电子束能量转化率---80%-90%，采用磁偏转系统可以方便地进行电子束---和扫描，加热均匀。

（3）电子束只轰击镀膜材料表面，不会由于其它材料的掺入而引起夹杂问题。

（4）电子枪蒸发镀膜机使用时的束斑直径、电功率、加束电压、扫描轨迹、频率等参数都容易实现调节。

（5）使用电子枪还可以在钢带镀膜生产过程中对被镀钢带进行真空预热，就是使用电子枪清洁钢带，轰击表面使其活化。通过电子束---的扫描，钢带表面温度控制在200~550℃，这种预热是钢带镀膜和提高镀膜附着力所必须的。

在光学镀膜材料的应用上，镀膜靶材是---，通过不同靶材中含有的稀有金属不同而形成不同的光学镀膜材料，普遍应用的稀有金属有---钇、---镨、锗、---锌、---镁、二氧化钛、氧化锆、钴、、硒等金属。在反射镜的光学材料中普遍用到铜、钼、硅、锗等金属，在输出端和透射光学原件中锗、、---等应用广泛。

随着镀膜技术的不断推广，光学镀膜技术的应用领域也在不断拓宽，这些具有优异物理特性的金属将随着我们生活水平的提高为我们的生活带来更多的精彩。