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.真空蒸镀

真空蒸镀是真空条件下在1.33x10-3至1.33x10-4pa的压力下，用电子束等热源加热沉积材料使之蒸发，蒸发的原子或分子直接在注塑加工件表面形成沉积层。但对于难熔的金属碳化物和氮化物进行直接蒸发是有困难的，并且有使化合物分解的倾向。为此，开发了引入化学过程的反应蒸镀，例如，用电子枪蒸发钛金属，并将少量和等反应气体导入蒸发空间，使钛原子和反应气体原子在工件表面进行反应，沉积tic涂层。

真空蒸镀多用于透镜和反射镜等光学元件、各种电子元件、塑料注塑加工制品等的表面镀膜，镀膜设备，在表面硬化方面的应用不太多。

镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用。在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等，镀膜设备厂家，这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。

（1）金黄色的是在刀具上涂镀了tin、zrn涂层。tin是一代运用广泛的硬质层资料。

（2）黑色的是在切削东西上涂了tic、crn涂层。

（3）钴铜色的是在刀具上镀涂了tialn涂层。

2080年代早期随着等离子体辅助pvd工艺的显露，cvd在工具方面的应用衰落了。但由于这种工艺具有---的渗入特性，其在cvi、ale等领域的工艺中有着---的应用前景，主要用于金属涂层、陶瓷涂层、无机涂层材料。

金属有机化合物cvd（mocvd）工艺被广泛用于电子工业，例如生产ai和gaas膜，当用于生长单晶材料膜时，这种工艺称为金属有机气相外延（mdvpe）。

原子层外延（ale）cvd是一种cvd衍生方法，可以控制膜的成长，现在该工艺已用于生产电荧光膜。