




微波等离子体化学气相沉积(mw-pcvd)
微波等离子体的特点是能量大,活性强。激发的亚稳态原子多,化学反应轻易进行,是一种很有发展前途、用途广泛的新工艺,五金真空镀膜设备,微波频率为2.45ghz,
微波放电与直流辉光放电相比具有设备结构简单,轻易起辉,耦合,工作稳定,无气体污染及电极腐蚀,电子真空镀膜设备,工作频带宽等优点,装置主要由微波发生器、环形器、定向耦合器、表面波导放电部分及沉积室组成。
溅射(或阴极喷涂)和蒸发是用于薄膜沉积的常用的pvd方法。
在pvd技术中,金属配件真空镀膜设备,释放或碰撞的热物理过程将要沉积的材料(目标)转化为原子粒子,然后在真空环境中在气态等离子体条件下将原子粒子定向到基材,真空镀膜设备,通过冷凝或化学反应生成物理涂层。投射原子的积累。该技术的结果是,要沉积的材料类型具有更高的灵活性,并且可以---地控制沉积膜的成分。连接到高压电源和真空室的两个电极构成了pvd反应器。
薄膜(比如铱和铂薄膜)之所以引起人们的兴趣是因为它们具有---的性能 、高的电导率 、很强的催化活性以及---的稳定性等 。这些性能使得薄膜在电极材料 、微电子 、固态燃料电池和气敏元件等许多领域存在广泛的应用。
在cvd处理过程中,尺寸变形小的材料是硬质合金及含cr高的不锈钢系合金;冲压加工领域使用的模具材料主要限于合金工具钢、冷作模具钢(cr12mov)、硬质合金等,其中快冷淬透钢,由于快冷时容易产生翘曲、扭曲等变形,所以不宜进行cvd处理;而高速钢是热处理膨胀较大的钢种,使用时必须充分估计其膨胀变形量。
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