金属纳米镀膜设备-拉奇纳米-纳米镀膜设备

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    2020-8-26

唐锦仪
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化学气相沉积tin

将经清洗、脱脂和氨气还原处理后的模具工件,置于充满h2(体积分数为99.99%)的反应器中,加热到900-1100℃,通入n2(体积分数为99.99%)的同时,并带入气态ticl4(分数不低于99.0%)到反应器中,则在工件表面上发生如下化学反应:

2ticl4(气)+n2(气)+4h2(气)***2tin(固)+8hcl(气)

固态tin沉积在模具表面上形成tin涂层,厚度可达3-10μm,副产品hcl气体则被吸收器排出。工艺参数的控制如下:

(1)氮氢比对tin的影响

一般情况下,氮氢体积比vn2/vh2<1/2时,五金配件纳米镀膜设备,随着n2的增加,tin沉积速率增大,涂层显微硬度增大;当vn2/vh2≈1/2时,led纳米镀膜设备,沉积速率和硬度达到值;当vn2/vh2>;1/2时,沉积速率和硬度逐渐下降。当vn2/vh2≈1/2时,所形成的tin涂层均匀致密,晶粒细小,金属纳米镀膜设备,硬度,涂层成分接近于化学当量的tin,而且与基体的结合牢固。因此,vn2/vh2要控制在1/2左右。





真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,纳米镀膜设备,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。 

真空镀膜机工作的环境要求:    

真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面。





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与cvd工艺相比,pvd工艺处理温度低,在600℃以下时对刀具材料的抗弯强度无影响;薄膜内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层;pvd工艺对环境无不利影响,符合现代绿色制造的发展方向。


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